Park 原子力顯微鏡 NX15
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產品特色
- 搭載 MultiSample™ 自動化樣品平台，透過專用卡盤可一次裝載最多 16 個樣品，支援自動連續量測與成像流程，大幅提升分析效率
- 支援多點掃描位置記錄功能，可透過 stage 座標輸入或 two-point alignment 建立樣品座標系，實現精準定位與自動化多區域量測，提升 wafer mapping 與 FA 分析效率
- Orthogonal Scan System 採用 XY 與 Z 軸獨立掃描架構，降低 crosstalk 與掃描失真，提升掃描線性度與影像準確性
- True Non-Contact™ 技術，降低探針磨耗與樣品損傷風險
- Z detector noise 約 0.02 nm 等級，提升奈米級高度量測解析能力與可信度
產品資訊
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原廠名稱
Park -
製程名稱
6吋(150mm Wafer)大樣品量測 -
英文名稱
NX15 -
產品細目
大樣品AFM
