Park 原子力顯微鏡 NX-Wafer
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產品特色
- 提供線上高解析度表面粗糙度、溝槽寬度、深度和角度量測。
- 實現多位置的直接可重複高解析度量測。
- 能夠掃描300mm 晶圓
產品資訊
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原廠名稱
Park -
製程名稱
晶圓廠製程自動化量測200mm/300mm -
英文名稱
NX-Wafer -
產品細目
線上型全自动AFM(晶圓廠)
