佳宸 载具清洗机
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产品特色
- 高压喷头搭配软件可以实现指向式清洗 / 喷头角度方向可调整
- 减少制程污染
- 空间节省30%
- 有效清除Particle / AMC
产品信息
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原厂名称
佳宸 -
制程名称
WLCSP/Ceramic e-WLB(Fan out)/Flip Chip/Wafer Bumping -
英文名称
Carrier Cleaner -
产品细目
全程使用DIW，可清洗载具如: Magazine, Boat/Jig, Frame CST, Tray CST
