佳宸 载具清洗机 SC-106
全程使用DIW，可清洗载具如: Foup/Fosb、Magazine、Boat/Jig、 Frame / Tray、Cassette、Frame CST、Tray CST
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产品特色
- 高压喷头搭配软件可以实现指向式清洗 / 喷头角度方向可调整
- 减少制程污染
- 空间节省30%
- 有效清除Particle / AMC / 残留光阻及残胶
产品信息
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原厂名称
佳宸 -
制程名称
WLCSP/Ceramic e-WLB(Fan out)/Flip Chip/Wafer Bumping -
英文名称
Foup/FOSB Cleaner(SC-106) -
产品细目
载具清洗机 SC-106
