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BRUKER Dektak XTL

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機能・特性
  • Automation and Analysis Software
  • Critical Results for Large-Format Applications
  • Step Height Repeatability <5Å, 1 sigma on 0.1μm step
  • Quick-change self-aligning stylus
製品情報
  • MANUFACTURER
    Bruker Co.,Ltd
  • MANUFACTURING PROCESS
    Optical measuring equipment
  • Details
    Large-Format Wafer and Panel Measurement
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