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Inspec RTR AOI/AVI 自动检查机

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产品特色
  • 卷对卷自动光学检查机
  • 连续式基板缺陷光学检查,检查不停止,检查速度可达360m/小时(L/S:35um)。
  • 搭配高分辨率CCD,可检查7/7um以上的线宽/线距。
  • 运用测长线功能,实现低过检/低漏检的缺陷检查。
  • 可选择搭配RTR缺陷复检机/Soft verify/Punch机。
产品信息
  • 原厂名称
    Inspec Inc.
  • 制程名称
    内层/外层/外观缺陷检查
  • 英文名称
    RTR AOI/AVI Automatic Inspection Machine
  • 产品细目
    客制光学表面检查机
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